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真空镀膜机选用要点

2021-08-17

真空镀膜-真空镀膜机选型要点

    1、手动和主动选择

    根据设备特点,可选择手动、半主动、全主动或组合控制方式。

    2、真空镀膜设备充气方式的选择

    充气方式可选择质量流量计、浮球流量计、针阀及相应的充气阀,并可选择多条充气管道及相应的流量参数。

    3、电镀方式的选择

    根据工艺要求选择电镀方式和方法,贵州镀钛加工,如电阻蒸腾(钨丝、钼舟、石墨舟)磁控源(同轴圆柱磁控源、圆柱平面磁控源、矩形平面磁控源等))多弧源可根据靶材和标度(Ф60、Ф80直径靶、气动、电弧引弧等)选用数字式智能真空计及其测量仪进行真空测量,其他测量仪表如主动压力控制器等。膜厚可以用方形电阻测量仪、透光率计等测量。

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    4、真空镀膜设备夹具的工作方式

    夹具工作方式包括旋转、公转和公转。用户可根据基材的尺寸和形状提出相应的要求。轧制速度范围和轧制精度:普通可调和变频调速。

    5.选择真空镀膜机类型

    根据工艺要求选择不同规格和类型的涂装设备。类型包括电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。

    6.真空系统

    真空系统由机械泵、分散泵、油增压泵、膨胀泵、罗茨泵,贵州钛金厂、坩埚分子泵等和与之相匹配的各种气动,PVD真空镀膜、手动、电动阀门和管路组成。

    


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