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离子镀膜中的离子源介绍

2021-07-06

霍尔离子源是一种在强轴向磁场作用下对工艺气体进行等离子体处理的阳极。轴向磁场的这种强烈不平衡使气体离子分离并形成离子束。由于轴向磁场太强,霍尔离子源的离子束需要补充电子以中和离子电流。常见的中和源是钨丝(阴极)。霍尔离子源的特点是:

    1.简单耐用。

    2、离子电流几乎与气体流量成正比,可以获得更大的离子电流。

    3、钨丝一般通过出线口,受到离子束的冲击很快被腐蚀。尤其是反应性气体,更换通常需要十几个小时。而且,钨丝也会受到相应程度的污染。解决钨丝的缺点。有长寿命的中和器,贵州镀钛加工,例如小型空心阴极源。

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    霍尔离子源是应用较广泛的离子源。离子源,例如Veece的MarkI和MarkII。适用于大多数家用离子源。

    如果镀耐磨装饰膜,膜厚大,要求与车身结合牢固,但均匀性不高。提供霍尔离子源。它具有高离子电流和高离子能级。如果镀有光学膜,主要是要求离子流水平集中,离子流均匀性好。因此,较好使用考夫曼或射频离子源。如果可能,您可以使用ECR(电子回旋加速器)或ICP(电感耦合)离子源。还要考虑耗材,例如钨丝的霍尔源,它会在反应气体中燃烧十小时。而先进的离子源,如ICP离子源,可以在反应气体中连续工作数百小时。

    PVD灯的铝涂层是真空镀膜的。因为是金属薄膜,直流磁控溅射当然好。高速。中频适用于镀复合膜。如果选择离子源,霍尔离子源就足够了。但要注意灯具的大小。一般霍尔离子源是圆形的,贵州钛金厂 ,离子源的覆盖范围有限。您必须用离子束覆盖所有工件。如果普通霍尔离子源太小,可以考虑阳极层离子源。离子源难以发光的原因之一是磁场太弱而无法激发等离子体。虽然离子源的种类很多,但基本上都是先产生等离子体,然后从等离子体中提取气体离子并加速形成离子束,这样就可以稍后注入电子,PVD真空镀膜,并根据需要中和离子电流。



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