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真空镀膜设备的正常工作条件和维修保养方法

2021-06-17

1、真空镀膜设备每完成200道以上的镀膜工序,就应打扫工作间。

    方法:用饱和氢氧化钠(NaOH)溶液反复擦洗真空室内部,(注意人体皮肤不要直接接触烧碱溶液,以免烫伤)目的是使包覆铝(AL)与NaOH反应.反应后,贵州镀钛加工,薄膜脱落并释放氢气。然后用清水清洗真空室,并用布蘸汽油擦净精吸阀内的污垢。

    2、粗泵(滑阀泵、旋片泵)连续工作1个月(雨季过半),需要更换新油。

    方法:拧下油螺栓,排掉旧油,然后启动泵几秒钟,将泵内的旧油排出。拧紧油塞,加新油至额定量(油视镜观察)。如果连续使用半年以上,换油时应打开油盖,用布擦去油箱内的污垢。

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    3、重新启动前,注意检漏。

    扩散泵连续使用6个月以上,抽速明显缓慢,或操作不当,充入大气,拆下连接水管,拆下电炉板,拧下一级喷嘴,用汽油清洗泵腔和泵胆。再次用清洁剂和水冲洗,然后用清水彻底冲洗。待水分蒸发后,贵州钛金厂,装上泵,加新的扩散泵油,装回机体,PVD真空镀膜,接上水管,装上电炉。您可以重新启动。重新启动前,注意检漏。

    方法:启动维修泵,关门。几分钟后,观察扩散泵的真空度是否达到6X10Pa,否则需要进行检漏。检查接头是否装有密封胶圈,或密封圈是否被压坏。排除漏气隐患后再加热,否则扩散泵油会烧环,真空镀膜设备无法进入工作状态。



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